無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司工藝冷卻系統Chiller憑借其高精度、寬溫域、快速響應和定制化能力,在多個對溫度控制要求嚴苛的行業中表現尤為突出。

一、半導體與集成電路制造(核心優勢領域)
應用場景:
晶圓前道:光刻、刻蝕(Etch)、化學氣相沉積(CVD)、離子注入、退火、CMP等;
封裝測試:晶圓級封裝(WLP)、高溫老化(HTOL)、溫度循環測試(TCT);
設備配套:為刻蝕機、薄膜沉積設備、激光退火系統提供ESC(靜電吸盤)溫控。
突出表現:
控溫精度達 ±0.01℃ ~ ±0.1℃;
支持 -20℃ ~ +200℃ 快速切換,滿足優良制程熱管理需求;
全密閉系統避免冷卻液污染環境;
行業地位:國產半導體溫控設備供應商之一,是國際品牌的替代選擇。
二、新能源(鋰電 & 光伏 & 氫能)
鋰電池制造:
材料共沉淀反應控溫(50~60℃恒溫);
電池模組高低溫性能測試(-40℃~85℃);
固態電池燒結工藝中的程序升降溫控制。
光伏與氫能:
HJT異質結電池PECVD腔體冷卻;
質子交換膜(PEM)電解槽熱管理;
氫燃料電池板測試平臺溫控。
優勢:
高可靠性支持7×24小時連續運行;
可選防爆機型,適配電解液、氫氣等危險環境。
三、生物醫藥與制藥工程
典型應用:
高活性藥物(HPAPI)合成中的強放熱反應控溫;
凍干(Lyophilization)預冷階段;
熔融結晶工藝(控制晶型與粒徑);
生物反應器夾套冷卻。
合規性支持:
提供兼容設計;
四、精細化工與新材料合成
適用工藝:
聚酰亞胺(PI)、環氧樹脂、聚氨酯等聚合反應;
連續流微反應器溫控;
納米材料水熱/溶劑熱合成;
特種涂料固化過程控溫。
技術亮點:
支持 200~300℃高溫導熱油循環;
全密閉系統防止高溫氧化,延長介質壽命;
可集成緊急冷卻功能,應對失控反應。
五、航空航天與裝備制造
應用場景:
碳纖維復合材料熱壓罐輔助控溫;
衛星光學載荷熱真空試驗;
高功率激光器(光纖/CO?)冷卻;
發動機部件熱疲勞測試。
優勢:
寬溫域(-120℃~300℃)覆蓋嚴苛工況;
模塊化設計便于集成到大型測試臺架;
支持多通道獨立控溫,模擬復雜熱場。
六、科研與高校實驗室
典型用戶:
各研究所高校;
實驗室(如微電子、量子信息、材料科學)。
設備特點:
噪音低,適合實驗室環境;
小型化機型桌面可用。
工藝冷卻系統Chiller并非“通用冷水機",而是面向“高技術門檻、高附加值、高可靠性"場景的專業溫控解決方案提供商。如您所在行業有特定溫控挑戰,冠亞通常能提供針對性控